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产品溅镀工艺流程
在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。以下是小编为大家整理的关于产品溅镀工艺流程，给大家作为参考，欢迎阅读!
溅镀过程
a，真空至10E-4mbar范围
b，注入氩气至10E-3 bar范围
c，施以直流电压
d，氩气在电场中被离子化，产生氩离子及自由电子
e，因电场关系，氩离子向阴极(靶材)加速，自由电子向阳极加速
f，被加速的氩离子和自由离子撞向其他氩原子，因动能转移，使更多的氩原子被离子化
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